МЭМС

МЭМС
Микромеханическая цепная передача (исследовательский проект).

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) — технологии и устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. МЭМС устройства обычно изготавливают на кремниевой подложке с помощью технологии микрообработки[1] (en:Microfabrication), аналогично технологии изготовления однокристальных интегральных микросхем. Типичные размеры микромеханических элементов лежат в диапазоне от 1 микрометра до 100 микрометров, тогда как размеры кристалла МЭМС микросхемы имеют размеры от 20 микрометров до одного миллиметра.

В настоящее время МЭМС технологии уже применяются для изготовления различных микросхем. Так, МЭМС-осцилляторы в некоторых применениях заменяют[2] кварцевые генераторы. МЭМС технологии применяются для создания разнообразных миниатюрных датчиков, таких как акселерометры, датчики угловых скоростей, магнитометрические датчики, барометрические датчики, анализаторы среды (например для оперативного анализа крови).

Примечания

  1. ↑ www.memsnet.org: «What is MEMS Technology?»(англ.)
  2. ↑ cnews.ru : «Механические микросхемы вытесняют электронные»

Ссылки



Wikimedia Foundation. 2010.

Игры ⚽ Нужен реферат?

Полезное


Смотреть что такое "МЭМС" в других словарях:

  • МЭМС — МЕМС микроэлектромеханическая система техн. МЕМС Источник: http://news.bbc.co.uk/hi/russian/sci/tech/newsid 4812000/4812752.stm …   Словарь сокращений и аббревиатур

  • Мэмс — Микромеханическая цепная передача (исследовательский проект). Микроэлектромеханические системы (МЭМС) технологии и устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. МЭМС устройства обычно изготавливают на кремниевой …   Википедия

  • МЭМС —  MEMS  (Micro Electro Mechanical Systems)  МЭМС (Микроэлектромеханические системы)   Интегрированные микроустройства или системы, комбинирующие электрические и механические компоненты, изготовленные по технологиям, совместимым с технологией… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • МЭМС — (сопрасан, церезан универсаль трокенбайце) C3H8HgO4Si M. м. 336,7 2 Метоксиэтилмеркурсиликат(Вауег) Белое кристаллическое вещество. Практически нерастворим в воде и большинстве органических растворителей. Давление пара (35°С) ≈ 0,44… …   Пестициды и регуляторы роста растений

  • Био-МЭМС —  BioMEMS  (Biological MicroElectro Mechanical Systems)  Био МЭМС (Биологические микроэлектромеханические системы)   Новое поколение устройств медицинского назначения. Включают нанотехнологические разработки в области тканевой инженерии,… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • Русская ассоциация МЭМС — РАМЭМС Русская ассоциация МЭМС Русская ассоциация разработчиков, производителей и потребителей микроэлектромеханических систем с 2010 http://www.mems russia.ru/​ организация, РФ, техн. РАМЭМС Источник:… …   Словарь сокращений и аббревиатур

  • Микроэлектромеханические системы — МЭМС сканер. На кристалле реализован привод зеркала и само …   Википедия

  • МЕМС — МЭМС МЕМС микроэлектромеханическая система техн. МЕМС Источник: http://news.bbc.co.uk/hi/russian/sci/tech/newsid 4812000/4812752.stm …   Словарь сокращений и аббревиатур

  • микроэлектромеханические системы — Термин микроэлектромеханические системы Термин на английском Micro electro mechanical systems Синонимы Microelectromechanical systems, Micromachines (Japan), Micro Systems – MST (Europe) Аббревиатуры МЭМС, MEMS Связанные термины актуатор,… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Гироскоп — Иллюстрация к основному свойству 3 степенного гироскопа (идеализированное функционирование). Гироскоп (от др. греч …   Википедия


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»